晶芯成申请Fin FET器件及其制造方法专利,减小Fin FET器件的寄生电容

金融界
04-11

金融界2025年4月11日消息,国家知识产权局信息显示,晶芯成(北京)科技有限公司申请一项名为“一种Fin FET器件及其制造方法”的专利,公开号CN 119789479 A,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本申请公开了一种Fin FET器件及其制造方法,涉及半导体器件技术领域,Fin FET器件包括:半导体衬底;位于半导体衬底上的鳍形结构,鳍形结构在第一方向延伸;阱区,位于鳍形结构的下部;STI结构,位于半导体衬底上,且位于相邻的阱区之间;栅叠层结构,在与第一方向相交的第二方向延伸,栅叠层结构横跨鳍形结构的上部,分别与鳍形结构上部的侧壁和顶部接触;以及源区和漏区,位于鳍形结构上部,且位于栅叠层结构两侧;其中,STI结构中具有气隙,气隙在第二方向延伸,且栅叠层结构位于STI结构表面的部分与STI结构中的气隙相对。本申请通过在STI结构中设置气隙,减小Fin FET器件的寄生电容。

天眼查资料显示,晶芯成(北京)科技有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本20万人民币,实缴资本20万人民币。通过天眼查大数据分析,晶芯成(北京)科技有限公司专利信息200条,此外企业还拥有行政许可1个。

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