如果您希望可以時常見面，歡迎標星 收藏哦~來源：內容編譯自semiwiki，謝謝。在今年的SPIE 大會上，ASML 新任首席執行官 Christophe Fouquet 發表了精彩的開幕/主題演講，重點關注High NA EUV。顯然，High NA EUV 不太可能像最初的 EUV 那樣出現延遲。我們應該期待它相對快速地推出和採用，因爲高 NA 更像是 EUV 的“升級”，而不是一個全新的產品...
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