金融界2025年1月25日消息，國家知識產權局信息顯示，細美事有限公司申請一項名為「基板處理系統及工藝氣體供應控制驗證方法」的專利，公開號 CN 119340237 A，申請日期為2023年12月。

專利摘要顯示，本發明作為基板處理系統以及工藝氣體供應控制驗證方法，更詳細地，公開一種驗證將用於執行半導體工藝的工藝氣體根據配方(Reicpe)調節為適當流量並供應的質量流量控制器(MFC)的工作的技術。工藝氣體供應控制驗證方法包括：驗證氣體供應步驟，用質量流量控制器調節驗證氣體的供應流量並供應工藝氣體，同時通過旁通氣體供應線向標定罐供應工藝氣體；驗證區間選定步驟，通過供應工藝氣體而使所述標定罐的狀態變化，同時選定驗證時間區間；變化狀態測定步驟，在所述驗證時間區間中測定所述標定罐的變化狀態以及供應流量算出步驟基於所述標定罐的變化狀態測定值來算出對工藝氣體的供應流量。