請將第 9 段中的 "英特爾正在使用 18A 製造技術來測試高 NA 工具，而不是使用高 NA 機器來開發 18A 製造技術 "改爲 "英特爾正在使用 18A 製造技術來測試高 NA 工具"。

Stephen Nellis

路透社加利福尼亞州聖何塞2月25日 - 英特爾INTC.O週一表示，ASML控股公司ASML.AS的首兩臺尖端光刻機已在其工廠 "投入生產"，早期數據顯示它們比早期型號更可靠。

在加利福尼亞州聖何塞舉行的一次會議上，英特爾高級首席工程師史蒂夫-卡森（Steve Carson）說，英特爾使用ASML的高數值孔徑$(NA)$ 光刻機，在一個季度內就生產出了3萬片硅片，這種大圓盤硅片可以生產出數千個計算芯片。

英特爾去年成爲世界上首家接收這種機器的芯片製造商，預計這種機器生產的計算芯片比早期的 ASML 機器更小、更快。此舉是英特爾戰略的轉變，因爲英特爾在採用上一代極紫外(EUV) 光刻機方面落後於競爭對手。

英特爾花了七年時間纔將這些早期設備投入全面生產，導致其領先優勢被臺灣積體電路製造股份有限公司（Taiwan Semiconductor Manufacturing Co 2330.TW）超越。在生產初期，英特爾在以前的 EUV 機型的可靠性方面遇到了困難。

不過，Carson表示，在初期測試中，ASML的新型高NA機器的可靠性大約是前一代機器的兩倍。

"Carson 說："我們正在以穩定的速度生產晶圓，這對平臺來說是一大福音。

新型 ASML 機器利用光束在芯片上打印特徵，還可以用更少的曝光次數完成與早期機器相同的工作，從而節省時間和金錢。

卡森說，英特爾工廠的早期結果顯示，高 NA 機器只需一次曝光和 "個位數 "的處理步驟，就能完成早期機器需要三次曝光和大約 40 個處理步驟才能完成的工作。

英特爾正在使用其 18A 製造技術測試高 NA 工具，該技術計劃於今年晚些時候與新一代 PC 芯片一起投入量產。

英特爾表示，它計劃利用下一代製造技術 14A 全面投產高 NA 機器，但尚未給出該技術的量產日期。

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