英特爾工廠內的阿斯麥高數值孔徑光刻機

鳳凰網科技訊 北京時間2月25日，據路透社報道，英特爾公司週一表示，來自阿斯麥的前兩臺尖端光刻機已經在其工廠“投入生產”。初步數據顯示，它們比之前的型號更可靠。

這兩臺光刻機是阿斯麥的高數值孔徑(High NA)極紫外光刻機，是目前世界上最先進的光刻機，能夠比之前的阿斯麥光刻機生產出更小、更快的計算芯片。去年，英特爾成爲了全球首家接收這些光刻機的芯片製造商。

英特爾高級首席工程師史蒂夫·卡爾森(Steve Carson)在加州聖何塞舉行的一場會議上表示，英特爾已利用阿斯麥的高數值孔徑光刻機在一個季度內生產了3萬片晶圓，這些晶圓可以產出數千顆計算芯片。

卡爾森指出，在初步測試中，阿斯麥新光刻機的可靠性是此前型號的大約兩倍。“我們正以持續穩定的速度生產晶圓，這對製造平臺來說是一個巨大福音。”他說。(作者/簫雨)

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