彙集半導體行業資訊 技術前沿、發展趨勢！3月14日，據韓國媒體報道，三星電子已在本月初於其華城園區成功引入首臺由ASML公司生產的High-NA EUV光刻機——EXE:5000，該設備價值高達5000億韓元（摺合人民幣約24.88億元）。ASML作爲全球唯一能夠提供此類高端光刻機的供應商，其High NA EUV設備“EXE:5000”通過技術革新，顯著提升了光刻精度，成爲2納米及以下先進製程...
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