東方晶源多年來深耕電子束檢測領域，其電子束缺陷檢測設備EBI與關鍵尺寸量測設備CD-SEM先後實現國產替代零的突破，並獲市場認可。2023年初，東方晶源推出DR-SEM r600，搭配3通道電子成像技術與新型設備平臺，在客戶端完成量產驗證，爲後續開發奠定了基礎。經過兩年時間迭代研發，東方晶源最新一代DR-SEM r655產品將搭載全新的高性能電子槍和光學檢測模組，以及升級版傳片系統和算法系統，突破...
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