金融界 2025 年 3 月 29 日消息，國家知識產權局信息顯示，中芯集成電路（寧波）有限公司申請一項名爲“利用金屬鎢製造 SAW 濾波器 PST 結構和叉指電極的方法和器件”的專利，公開號 CN 119696533 A，申請日期爲 2024 年 11 月。

專利摘要顯示，本發明涉及集成電路製造技術領域，具體公開利用金屬鎢製造 SAW 濾波器 PST 結構和叉指電極的方法和器件，該方法包括：在襯底上依次進行氧化層沉積、平坦化、曝光顯影和幹法刻蝕，形成叉指槽；在叉指槽中化學氣相沉積金屬鎢形成具有 PST 結構的叉指電極後平坦化；每個具有 PST 結構的叉指電極的叉指包括 IDT 主體和 PST 結構，IDT 主體兩端均設置有 PST 結構，且與兩端的 PST 結構共同形成工字狀。本發明通過在叉指槽中化學氣相沉積金屬鎢形成具有 PST 結構的叉指電極後平坦化，線寬均勻性和粗糙度都優於傳統的負膠剝離工藝，且更適合製作更密集的叉指電極，有效抑制二次諧波，提升了濾波器通帶內性能。

天眼查資料顯示，中芯集成電路（寧波）有限公司，成立於2016年，位於寧波市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設備製造業爲主的企業。企業註冊資本473304.347718萬人民幣，實繳資本473304.347718萬人民幣。通過天眼查大數據分析，中芯集成電路（寧波）有限公司參與招投標項目35次，財產線索方面有商標信息65條，專利信息447條，此外企業還擁有行政許可14個。