金融界2025年4月11日消息,國家知識產權局信息顯示,晶芯成(北京)科技有限公司申請一項名為「一種Fin FET器件及其製造方法」的專利,公開號CN 119789479 A,申請日期為2025年3月。
專利摘要顯示,本申請公開了一種Fin FET器件及其製造方法,涉及半導體器件技術領域,Fin FET器件包括:半導體襯底;位於半導體襯底上的鰭形結構,鰭形結構在第一方向延伸;阱區,位於鰭形結構的下部;STI結構,位於半導體襯底上,且位於相鄰的阱區之間;柵疊層結構,在與第一方向相交的第二方向延伸,柵疊層結構橫跨鰭形結構的上部,分別與鰭形結構上部的側壁和頂部接觸;以及源區和漏區,位於鰭形結構上部,且位於柵疊層結構兩側;其中,STI結構中具有氣隙,氣隙在第二方向延伸,且柵疊層結構位於STI結構表面的部分與STI結構中的氣隙相對。本申請通過在STI結構中設定氣隙,減小Fin FET器件的寄生電容。
天眼查資料顯示,晶芯成(北京)科技有限公司,成立於2020年,位於北京市,是一家以從事科技推廣和應用服務業為主的企業。企業註冊資本20萬人民幣,實繳資本20萬人民幣。通過天眼查大數據分析,晶芯成(北京)科技有限公司專利信息200條,此外企業還擁有行政許可1個。