大家都清楚,EUV光刻機是當前最先進的光刻機技術,可以用於7nm及以下芯片的製造,採用13.5nm波長的極紫外線,售價幾億美元一臺。而這樣的EUV光刻機,目前也只有荷蘭的ASML一家能夠製造,像日本的Cana、Nikon,以及中國的上海微電子,都無法制造。所以這就導致我們製造7nm及以下工藝時候時,被光刻機卡了脖子了。那麼問題就來了,爲何EUV光刻機,只有ASML一家能夠製造出來,而我們研發不出來...
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