在近日舉辦的北美技術論壇上,臺積電首次公開了N2 2nm工藝的缺陷率(D0)情況,比此前的7nm、5nm、3nm等歷代工藝都好的多。
臺積電沒有給出具體數據,只是比較了幾個工藝缺陷率隨時間變化的趨勢。
臺積電N2首次引入了GAAFET全環繞晶體管,目前距離大規模量產還有2個季度,也就是要等到年底。
N2試產近2個月來,缺陷率和同期的N5/N4差不多,還稍微低一點,同時顯著優於N7/N6、N3/N3P。
從試產到量產半年的時間週期內,N7/N6的綜合缺陷率是最高的,N3/N3P從量產開始就低得多了,N5/N4情況更好,從試產開始就明顯更低。
N2如果能延續N5/N4的趨勢,前景無疑是非常光明的。
臺積電還指出,一種工藝的缺陷率能否快速降低,除了取決於本身的設計和技術,也要看製造芯片數量、產能規模,越多越大就越容易發現缺陷並改進。
臺積電N2已流片的芯片數量就明顯更多,也是其能夠快速降低缺陷率的關鍵原因。
