蘇州億波達申請單軸面外 MEMS 陀螺儀專利,降低陀螺零偏指標

金融界
04-26

金融界 2025 年 4 月 26 日消息,國家知識產權局信息顯示,蘇州億波達微系統技術有限公司申請一項名爲“單軸面外 MEMS 陀螺儀”的專利,公開號 CN119860757A,申請日期爲 2025 年 3 月。

專利摘要顯示,本發明涉及一種單軸面外 MEMS 陀螺儀,包括襯底、錨點單元、運動單元以及電極單元,運動單元包括四個驅動框,四個驅動框沿 x 方向和 y 方向陣列布置,驅動框具有沿 x 方向線性運動的自由度,沿 x 方向佈置的兩個驅動框之間設有沿 x 方向佈置的兩個質量塊,質量塊通過第一解耦梁連接沿 x 方向相鄰的驅動框,沿 x 方向佈置的兩個質量塊之間設有檢測框,檢測框具有繞 y 方向擺動的自由度,檢測框通過第二解耦梁連接沿 x 方向相鄰的兩個質量塊,電極單元包括驅動模態激勵電極和敏感模態檢測電極。採用二級解耦的方式實現驅動框運動與檢測框運動相解耦,能夠從結構層面上降低陀螺正交誤差,進一步降低陀螺的零偏指標,爲實現高性能單軸面外 MEMS 陀螺儀打下基礎。

天眼查資料顯示,蘇州億波達微系統技術有限公司,成立於2021年,位於蘇州市,是一家以從事科技推廣和應用服務業爲主的企業。企業註冊資本2357.1429萬人民幣。通過天眼查大數據分析,蘇州億波達微系統技術有限公司共對外投資了2家企業,參與招投標項目5次,財產線索方面有商標信息7條,專利信息24條,此外企業還擁有行政許可10個。

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