请将第 9 段中的 "英特尔正在使用 18A 制造技术来测试高 NA 工具，而不是使用高 NA 机器来开发 18A 制造技术 "改为 "英特尔正在使用 18A 制造技术来测试高 NA 工具"。

Stephen Nellis

路透社加利福尼亚州圣何塞2月25日 - 英特尔INTC.O周一表示，ASML控股公司ASML.AS的首两台尖端光刻机已在其工厂 "投入生产"，早期数据显示它们比早期型号更可靠。

在加利福尼亚州圣何塞举行的一次会议上，英特尔高级首席工程师史蒂夫-卡森（Steve Carson）说，英特尔使用ASML的高数值孔径$(NA)$ 光刻机，在一个季度内就生产出了3万片硅片，这种大圆盘硅片可以生产出数千个计算芯片。

英特尔去年成为世界上首家接收这种机器的芯片制造商，预计这种机器生产的计算芯片比早期的 ASML 机器更小、更快。此举是英特尔战略的转变，因为英特尔在采用上一代极紫外(EUV) 光刻机方面落后于竞争对手。

英特尔花了七年时间才将这些早期设备投入全面生产，导致其领先优势被台湾积体电路制造股份有限公司（Taiwan Semiconductor Manufacturing Co 2330.TW）超越。在生产初期，英特尔在以前的 EUV 机型的可靠性方面遇到了困难。

不过，Carson表示，在初期测试中，ASML的新型高NA机器的可靠性大约是前一代机器的两倍。

"Carson 说："我们正在以稳定的速度生产晶圆，这对平台来说是一大福音。

新型 ASML 机器利用光束在芯片上打印特征，还可以用更少的曝光次数完成与早期机器相同的工作，从而节省时间和金钱。

卡森说，英特尔工厂的早期结果显示，高 NA 机器只需一次曝光和 "个位数 "的处理步骤，就能完成早期机器需要三次曝光和大约 40 个处理步骤才能完成的工作。

英特尔正在使用其 18A 制造技术测试高 NA 工具，该技术计划于今年晚些时候与新一代 PC 芯片一起投入量产。

英特尔表示，它计划利用下一代制造技术 14A 全面投产高 NA 机器，但尚未给出该技术的量产日期。

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