汇集半导体行业资讯 技术前沿、发展趋势！3月14日，据韩国媒体报道，三星电子已在本月初于其华城园区成功引入首台由ASML公司生产的High-NA EUV光刻机——EXE:5000，该设备价值高达5000亿韩元（折合人民币约24.88亿元）。ASML作为全球唯一能够提供此类高端光刻机的供应商，其High NA EUV设备“EXE:5000”通过技术革新，显著提升了光刻精度，成为2纳米及以下先进制程...
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