【一口气发布数十款装备,新凯来火了】金十数据3月27日讯,3月26日,SEMICON China 2025在上海开幕。在本次展会上,新凯来展区人头攒动。这是新凯来首次公开亮相,同时发布多款产品,覆盖半导体制造全流程。发布的产品,在工艺装备方面包括:扩散装备RTP(三清山)、EPI(峨眉山);刻蚀产品ETCH(武夷山);薄膜产品PVD(普陀山)、CVD(长白山)、ALD(阿里山)。在量检测装备方面包括:光学检测产品岳麓山BFI、丹霞山DFI、蓬莱山PC、莫干山MBI;光学量测产品天门山IBO、天门山DBO;PX量测产品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF;功率检测产品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。
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