金融界2025年4月16日消息，国家知识产权局信息显示，广东比亚迪节能科技有限公司申请一项名为“MEMS器件及其封装方法”的专利，公开号CN 119822314 A，申请日期为2024年9月。专利摘要显示，本公开涉及一种MEMS器件及其封装方法，MEMS器件包括主体晶圆（1）和衬底晶圆（2），所述主体晶圆（1）包括MEMS敏感结构（11）和第一导电层（12），所述MEMS敏感结构（11）包括多个...
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