台积电公布N2 2nm缺陷率:比3/5/7nm都要好

快科技
11小时前

在近日举办的北美技术论坛上,台积电首次公开了N2 2nm工艺的缺陷率(D0)情况,比此前的7nm、5nm、3nm等历代工艺都好的多。台积电没有给出具体数据,只是比较了几个工艺缺陷率随时间变化的趋势。台积电N2首次引入了GAAFET全环绕晶体管,目前距离大规模量产还有2个季度,也就是要等到年底。N2试产近2个月来,缺陷率和同期的N5/N4差不多,还稍微低一点,同时显著优于N7/N6、N3/N3P。从...

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